场发射透射电子显微镜

实验项目：

场发射透射电子显微镜（全部项目）

仪器说明：

功能简介：JEM-F200冷场发射透射电镜支持TEM明场/暗场像、高分辨成像（HRTEM）、电子衍射（包括SAED、NBD、CBD）和STEM等多种成像技术，配置全自动样品进出样品杆和高灵敏度双SDD检测器，可进行STEM-EDS分析测试。

主要性能指标：最高加速电压200 kV；点分辨率≤0.23nm@200kV；线分辨率≤0.10nm@200 kV、≤0.14nm@80 kV；STEM DF分辨率≤0.16nm@200 kV、≤0.31nm@80 kV；束斑漂移≤1nm/min。TEM放大倍率20× ~ 2.0 M×；STEM放大倍率200× ~ 150 M×。物镜球差系数Cs ≤ 1.0mm；色差系数Cc ≤1.4mm。EDS双SDD探测器，探测面积 ≥ 2×100 mm2；能量分辨率≤133eV；元素分析范围4B ~ 92U。配置GATAN Oneview CMOS相机，支持4k ×4k分辨率。